Определение параметров оптических покрытий эллипсометрическими методами

Авторы

  • В. Г. Шеманин Филиал БГТУ им. В. Г. Шухова в г. Новороссийске
  • О. В. Мкртычев Филиал БГТУ им. В. Г. Шухова в г. Новороссийске

Ключевые слова:

эллипсометрия, оптические материалы

Аннотация

Расширение области применения наноразмерных покрытий в современных технологиях, в том числе и полимерных, ставит вопросы об определении параметров таких покрытий (например, при использовании таких материалов в качестве покрытий силовой оптики). Приводятся результаты экспериментальных исследований определения оптических и геометрических параметров наноразмерных оптических покрытий. В данной статье даны значения величин показателя преломления и толщины плёнок из диоксидов кремния и титана, нанесённых на стеклянную подложку.

Библиографические ссылки

Мажукин А. В., Королёва О. Н. Расчёт оптических характеристик алюминия // Математическое моделирование. 2010. Т. 22. № 5. С. 15-28.

Королева О. Н., Мажукин В. И. Математическое моделирование лазерного плавления и испарения многослойных материалов // Журнал вычислительной математики и математической физики. 2006. Т. 46. № 5. С. 887-901.

Mazhukin V. I., Mazhukin A. V., Demin M. M., Shapranov A. V. Nanosecond laser ablation of target al in a gaseous medium: explosive boiling // Applied Physics A: Materials Science & Processing. 2018. Т. 124. № 3. P. 237.

Фёдоров А. В., Рождественский Ю. В. Отражение и рассеяние света от трёхслойной структуры с двумя шероховатыми границами раздела // ЖТФ. 1993. Т. 63. Вып. 3. С. 1–13.

Ивлев Г. Д., Нуприенок И. С., Чапланов А. М., Шибко А. Н. Влияние наносекундного лазерного нагрева на фазовый состав и электрофизические характеристики тонкоплёночной системы Ti–Si // ЖТФ. 1993. Т. 63. Вып. 7. С. 87–92.

Дианов Е. М., Коряковский А. С., Марченко В. М., Лебедев В. Ф., Пименов В. Г., Прохоров А. М. Очистка и легирование кварцевого стекла при лазерной аэрозолной дистиляции // ЖТФ. 1993. Т. 63. Вып. 11. С. 196–200.

Куликов К Г Моделирование тепловых процессов, вызываемых воздействием лазерного излучения на органические среды // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 2. С. 96–103.

Садыков Н. Р., Скоркин Н. А. Математическое моделирование процесса взаимодействия излучения с наночастицами // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 9. С. 83–88.

Сетейкин А. Ю., Красников И. В. Анализ тепловых эффектов, возникающих при взаимодействии лазерного излучения с многослойными покрытиями // Известия вузов. Физика. 2006. № 10. С. 90–94.

Болотов В. В., Давлеткильдеев Н. А., Коротенко В. Е., Росликов В. Е., Стенькин Ю. А. Исследование слоёв нанокомпозита пористый кремний – оксид олова с помощью метода спектральной эллипсометрии // ЖТФ. 2011. Т. 81. Вып. 11. С. 52–57.

Биленко Д. И., Сагайдачный А. А., Галушка В. В., Полянская В. П. Определение оптических свойств и толщины нанослоёв по угловым зависимостям коэффициента отражения // ЖТФ. 2010. Т. 80. Вып. 10. С. 89–94.

Царькова О. Г. Оптические и теплофизические свойства металлов, керамик и алмазных плёнок при высокотемпературном лазерном нагреве // Труды ИОФ РАН. 2004. Т. 60. С. 30–82.

Воронина Э. И., Ефремов В. П., Привалов В. Е., Чартий П. В., Шеманин В. Г. Оптическая прочность полимерных материалов при их лазерной абляционной деструкции. // Журнал технической физики. – 2009. – Т. 79. – № 5. – С. 143-145.

Аткарская А. Б., Мкртычев О. В., Шеманин В. Г. Изменение показателя преломления наноразмерных пленок при модифицировании стеклянных подложек. // Известия вузов. Физика. – 2012. – Т. 55. – № 8/2. – С. 238-239.

Atkarskaya A. B., Mkrtychev O. V., Privalov V. E. Shemanin V. G. Laser Ablation of the Glass Nanocomposites Studies. // Оptical Memory and Neural Networks (Information Optics). - 2014. - V. 23. - No. 4. - p. 265-270.

Привалов В. Е., Шеманин В. Г., Мкртычев О. В. Метод оценки прочности облучаемой поверхности при лазерной абляции. // Измерительная техника 2018, № 7, С. 34-37.

Kolpakova E. V., Atkarskaya A. B., Mkrtychev O. V., Shemanin V. G. SiO2 barrier layer influence on the glass composites with oxide nano films laser ablation destruction. // Nanosystems: Physics, Chemistry, Mathematics, 2019, 10 (6), P. 632–636. DOI 10.17586/2220-8054-2019-10-6-632-636.

Mkrtychev O. V., Privalov V. E., Shevtsov Yu. V., Shemanin V. G. Study of Laser Ablative Destruction of Composites with Nanoscale Coatings of Hafnium and Zirconium Dioxides. // Optical Memory and Neural Networks, 2020, Vol. 29, No. 2, pp. 142–146. © Allerton Press, Inc., 2020. DOI: 10.3103/S1060992X20020095.

Мкртычев О. В., Шеманин В. Г. Способ определения оптической прочности материалов при однократном облучении // Патент на изобретение RU 2694073 C1, 09.07.2019. Заявка № 2018110756 от 26.03.2018.

Загрузки

Опубликован

2022-12-26

Как цитировать

Шеманин, В., & Мкртычев, О. (2022). Определение параметров оптических покрытий эллипсометрическими методами. Лазеры. Измерения. Информация, 2(4), 038-044. извлечено от http://lasers-measurement-information.ru/ojs/index.php/laser/article/view/50

Выпуск

Том 2 № 4 (2022)

Раздел

Лазерные и оптические измерения

Лицензия

Copyright (c) 2022 Лазеры. Измерения. Информация

Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial-NoDerivatives» («Атрибуция — Некоммерческое использование — Без производных произведений») 4.0 Всемирная.

Copyright information 

Тексты данной электронной статьи защищены (cc) Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Unported License.

Вы можете свободно:

Делиться (You are free: to Share) – копировать, распространять и передавать другим лицам данную электронную книгу при обязательном соблюдении следующих условий:

– Атрибуция (Attribution) – Вы должны атрибутировать произведения (указывать автора и источник) в порядке, предусмотренном автором или лицензиаром (но только так, чтобы никоим образом не подразумевалось, что они поддерживают вас или использование вами данного произведения). 

– Некоммерческое использование (Noncommercial use) – Вы не можете использовать эти произведения в коммерческих целях.

– Без производных произведений – Вы не можете изменять, преобразовывать или брать за основу эту электронную книгу или отдельные произведения. 

 

Licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Unported License.

To view a copy of this license, visit http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
or send a letter to Creative Commons, 444 Castro Street, Suite 900, Mountain View, California, 94041, USA.

You are free:

to Share — to copy, distribute and transmit the work

Under the following conditions:

Attribution — You must attribute the work in the manner specified by the author or licensor (but not in any way that suggests that they endorse you or your use of the work).

Non-commercial — You may not use this work for commercial purposes.

No Derivative Works — You may not alter, transform, or build upon this work. 

Any of the above conditions can be waived if you get permission from the copyright holder.